關(guān)于導(dǎo)電滑環(huán)在單晶爐構(gòu)成方面的應(yīng)用,今天深圳市九江英智電子有限公司小編跟大家分享一下:
單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長(zhǎng)無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。單晶爐的構(gòu)成主要包括:
1,提拉頭:主要由安裝盤 減速機(jī) 籽晶腔 劃線環(huán) 電機(jī) 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管、導(dǎo)電滑環(huán)等其他部件組成
2,副室:主要是副室筒以及上下法蘭組成
3,爐蓋:副室連接法蘭,翻板閥,觀察窗 抽真空管道 組成
4,爐筒:包括取光孔
5,下爐筒:包括抽真空管道
6,底座機(jī)架:全鑄鐵機(jī)架和底座
7,坩堝下傳動(dòng)裝置:主要由磁流體 電機(jī) 坩堝支撐軸 減速機(jī) 軟波紋管 立柱 上下傳動(dòng)支撐架 導(dǎo)軌 等部件組成
8,分水器已經(jīng)水路布置:包括分水器,進(jìn)水水管,若干膠管 水管卡套等
9,氬氣管道布置:質(zhì)量流量計(jì) 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個(gè)壓力探測(cè)器 高密封性卡套 等部件
10,真空泵以及真空除塵裝置:油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等
11,電源以及電控柜:電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線。
導(dǎo)電滑環(huán)作為單晶爐上一個(gè)重要的零配件,也起著非常重要的作用。導(dǎo)電滑環(huán)是用于提拉頭信號(hào)傳輸及電源供給的,通過360°的旋轉(zhuǎn)來傳遞電流及信號(hào)。所以一旦導(dǎo)電滑環(huán)出現(xiàn)故障,提拉頭信號(hào)就無法正常傳輸,就會(huì)導(dǎo)致單晶爐無法正常運(yùn)作。更多精彩內(nèi)容請(qǐng)您持續(xù)關(guān)注:http://www.hbcjs.com.cn/news
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